238-246: Dieses Kapitel baut v.a. auf den Kapiteln 5 (1957+) und 17 (1978+) auf, hier sind wir zumeist in den 90er-Jahren unterwegs. 1. Technik: Lichtwellenlängen: Es macht Sinn hier 3 Größenordnungen zu unterscheiden: I) In der Frühzeit waren die Transistoren so groß, dass die verwendeten Lichtwellenlängen kaum eine Rolle spielten. II) Als DUV (Deep Ultraviolet Light) werden Wellenlängen von 248 oder 193 Nanometer (nm) bezeichnet. III) Als EUV (Extreme Ultraviolet Light) werden Wellenlängen von 13,5 nm bezeichnet. Letzteres war 1990 noch Zukunftsmusik, wenn es denn überhaupt machbar war, was einige Experten bezweifelten; dazu mußten gewaltige neuartige Probleme gelöst und Milliarden Dollar mit ungewissem Ausgang investiert werden. 2. Welche Firmen kamen in Frage? Nur sehr wenige. Die US-Firma GCA war bereits untergegangen. Es waren da noch Canon und Nikon, aber die US-Seite wollte diese japanischen Firmen nicht mehr unterstützen. Übrig blieb v.a. die niederländische Firma ASML, die Philips (NL) 1984 ausgegliedert hatte. Philips war gleichzeitig der ausländische Hauptinvestor bei TSMC gewesen. 3. US-Geopolitik: Anfang der 90er-Jahre sahen (nicht nur) diverse US-Ideologen die USA als einzige verbliebene Supermacht auf dem Gipfel ihrer Macht („unipolare“ Welt), Management-Gurus versprachen eine Welt ohne Grenzen, wo allein der Profit regieren würde. Trotzdem soll die US-Regierung gegenüber ASML auf einer Bindung an die USA bestanden haben, die ASML in Gestalt des Aufbaus wesentlicher Produktionsstätten in den USA umgesetzt haben könnte.
(9.7.25)
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